电感式传感器的分类有哪些？各自有什么特点？
电感传感器根据工作原理和结构特点可分为以下三类，各自具有不同的应用场景和性能特点：
一、自感式电感传感器
由线圈、铁芯和衔铁组成，通过衔铁位移改变线圈电感量实现测量。其特点是结构简单、灵敏度高，但存在非线性误差和动态响应较慢的问题。
二、差动变压器式传感器
采用差动变压器结构，通过互感变化检测位移。优势在于线性范围宽、输出信号稳定，适合高精度位移测量，但需要复杂电路处理信号。
三、电涡流式传感器
基于涡流效应，无需接触即可检测金属物体位移或厚度。特点是抗干扰能力强、耐高温，但检测距离较短且受材质影响较大。电涡流式电感传感器是非接触式传感器，通过导体中涡流变化检测位移或材料特性。
电涡流式电感传感器的关键特点有：非接触测量（避免机械磨损，适用于旋转部件的位移监测）、高分辨率与抗干扰性（分辨率可达微米级，且不受油污、灰尘等介质影响）、快速响应（适合高频动态测量）。
电涡流电感式传感器的典型应用有：工业监测（检测轴位移、振动及材料厚度）、缺陷检测（通过涡流异常识别表面裂纹或腐蚀）、自动化控制（用于机器人定位或安全防护）、技术限制（仅适用于导电材料）、检测距离较短（通常毫米级）、需校准以适应不同材质。
什么是电容式传感器？电容式传感器在半导体制造行业的应用有哪些？
电容式传感器是一种通过检测目标物引起的电容变化来测量物理量（如位移、液位、湿度等）的装置，具有非接触、高精度和适应恶劣环境的特点。其核心原理是极板间电容值随距离、面积或介质变化而改变。
在半导体制造这一追求精密的领域，电容式传感器凭借其高精度、高稳定性和非接触测量等优点，成为了不可或缺的关键部件。电容式传感器通过微小的电容变化来感知物理世界的细微变动，如同一双“无形之手”，在多个核心制程环节中确保着生产的精准与高效。
1，晶圆对准
在光刻工序中，晶圆与光刻掩模版必须实现近乎完美的对准。电容传感器被集成在光刻机的工作台上，通过探测晶圆与传感器探头之间微米甚至纳米级的气隙变化，实时反馈位置偏差。控制系统根据这些电容传感器反馈的数据快速调整晶圆的位置，确保电路图案能够被准确地转印到硅片上，这是实现芯片高良率的关键保障。
2，薄膜厚度的在线监测
在化学机械抛光（CMP）等工艺中，需要实时监控晶圆表面薄膜的厚度是否均匀且达到目标值。电容传感器在此发挥作用。不同厚度的薄膜会改变传感器与晶圆之间介电层的等效介电常数，从而引起电容值的规律性变化。通过电容传感器测量的这种变化，系统能够非接触地、高精度地在线监测薄膜厚度，并及时调整工艺参数。
3. 化学品的液位监控
半导体工厂使用大量的高纯化学液体，电容式液位传感器可以安装在储罐外部，通过检测罐壁与内部液体或气体之间介电常数的变化，来实时监控液位，有效预防泄漏、确保工艺稳定和工厂安全。针对腐蚀性化学品，电容式传感器会采用陶瓷等耐腐蚀材料作为防护。
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